Advanced Energy ?的 OR400M光學高溫計將Sekidenko產(chǎn)品系列的應用范圍擴展至3.3μm–5.2μm的中紅外波長范圍。 OR400M可進行單通溫度測量，用于半導體設備的高精密溫度測量，用于硅片，腔室的精確測溫。OR400M支持RS-232和模擬數(shù)據(jù)接口。OR400M設計緊湊，易于集成，可滿足許多工藝應用的獨特要求。